中國粉體網訊 近日，南寧神光科技有限公司表示，公司已建成400噸/年的高純合成熔石英玻璃材料生產線，2024年預計可完成銷售收入7000萬元。
據悉，合成石英玻璃是采用SiCl4、有機硅等含硅化合物為原料通過化學氣相沉積法（CVD）制備，CVD法的原理是將含硅化合物在載料氣體的帶動下送入氫氧焰噴燈，在高溫作用下發生化學反應生成SiO2顆粒，隨后直接沉積在旋轉的底座上形成石英玻璃坨，經過冷卻最終得到合成石英玻璃錠，主要應用于TFT-LCD和IC用光掩膜基板以及半導體高端制程中石英玻璃材料配套領域。
南寧神光科技有限公司是神光光學集團有限公司全資子公司，主營業務是合成熔石英玻璃的制造、加工、檢測及相關技術的研發，公司生產出來的熔石英玻璃，光學非均勻性好、抗輻射性強、光透過率高。
神光光學合成熔石英玻璃
神光光學集團有限公司始創于2007，聚焦高品質合成熔石英玻璃的研發和生產。神光光學的合成石英材料采用化學氣相沉積工藝，通過氫氧火焰水解四氯化硅而制得的高純光學材料，具有紫外波段透過率高、光學均勻性好、熱穩定性強、化學穩定性好、耐激光損傷等優點。公司合成石英玻璃純度高達99.9999%，擁有多種卓越的光學性能、機械性能以及熱學性能是制造高科技產品不可或缺的材料。公司的產品廣泛應用于航空航天、精密光學、光刻技術、半導體等應用領域，是國內高端合成熔石英玻璃的主要供應商。
來源：神光光學
據介紹，神光光學以為自主生產的高純熔石英錠料作為原料，制備超光滑表面的合成熔石英坯片，產品綜合性能對標目前國際市場上先進的同類產品，可以滿足國內光刻機物鏡及照明系統、芯片制造用晶圓、干涉儀標準鏡等高端裝備制造的迫切需求，從而實現合成熔石英材料在我國高端裝備制造領域的國產化替代。
神光光學其它石英玻璃產品
除合成熔石英材料外，神光光學還擁有氣熔石英材料、LCD掩模版基板、石英玻璃晶圓等石英玻璃制品。
氣熔石英材料
來源：神光光學
采用高品質天然石英砂，基于自主工藝制造的電熔石英錠，可滿足半導體、光伏、工業等行業對石英材料的嚴苛要求，為客戶提供材料性能優異、穩定、可定制化的大尺寸石英材料及產品。
LCD掩模版基板
掩模版是微電子制造過程中的圖形轉移母版，是承載圖形設計和工藝技術等知識產權信息的載體，是平板顯示、觸控、電路板等行業生產制造過程中重要的關鍵材料，是下游顯示面板批量制造行業生產流程銜接的關鍵部分，是下游產品精度和質量的決定因素之一。平板顯示用掩模基板通常由石英襯底和沉積在其上的功能材料組成。
近年來，神光光學開發TFT及芯片用光掩模基板產品，取得了重大的進展和標志性的成果，開發研制成功多款半導體用光掩模產品，各項技術指標均達到了用戶的標準。
石英玻璃晶圓
來源：神光光學
半導體行業（玻璃通孔TVG、無源器件集成WL-IPD）：TGV在玻璃中具有許多直徑為微米級的通孔，為下一代半導體封裝基板材料。通過玻璃材料和孔加工技術實現的高品質TGV，可以實現數據中心、5G通信網絡和loT設備等各種市場的設備小型化，并實現高密度封裝和GHz速度的數據處理。
參考來源：中央廣電總臺國際在線、廣西產研院、神光光學官網、神光光學官微、中國粉體網
（中國粉體網編輯整理/初末）
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