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西安交通大學微納尺度材料行為研究中心依托國儀量子SEM 4000場發射掃描電鏡，集成了多套材料原位性能測試系統，在掃描電鏡原位測試技術應用和材料科學研究方面取得了令人矚目的成果，為國產高端科學儀器在前沿科研領域的應用樹立了新標桿。

國內領先的材料研究平臺

西安交通大學微納尺度材料行為研究中心是以材料科學與工程一級國家重點學科和金屬材料強度全國重點實驗室為依托建設的權威科研平臺，專注于微納尺度材料的結構與性能研究。

自成立以來，中心在科研成果產出方面表現卓越，發表了包括Nature、Science在內的高水平論文410余篇，團隊牽頭獲得了2023年國家自然科學獎二等獎等多項國家和省部級獎勵。在產業化應用方面，中心建成了全國首條年產千噸級3N5A級高品質鎂生產示范線，產生了顯著的社會和經濟效益，真正實現了科研成果的產業轉化。

中心目前建有國內領先的材料原位性能研究平臺，包括配有定量納米力熱耦合測試系統的日立300kV環境透射電鏡、可在原子尺度原位觀察材料力熱氣行為的環境球差校正透射電鏡等多臺大型設備系統，為開展前沿材料科學研究提供了強有力的技術支撐。

國產電鏡的高效應用體驗

2024年，中心正式引入國儀量子SEM4000場發射掃描電鏡。設備負責人范傳偉老師表示：“SEM4000的分辨率、穩定性能夠很好滿足我們中心的研究需求，最讓我們印象深刻的是，從設備采購到產出第一篇相關論文，只用了不到4個月的時間，采購、運行和售后的效率非常高?！?/p>

在定制化服務方面，國儀量子展現了突出的本土化優勢?！搬槍ξ覀儝呙桦婄R下的原位實驗需求，國儀專門為我們定制了原位視頻錄制模塊，還為不同的原位裝置定制了轉接臺。這種快速響應和定制化服務能力，充分體現了國儀的專業水準和本土化優勢。”范傳偉老師對國產設備的服務能力給予了高度評價。

全面的原位測試系統集成

目前，中心的SEM4000已成功搭載了三套核心原位測試系統，形成了完整的原位性能研究能力。

布魯克Hysitron PI 89納米力學測試系統是其中的重要組成部分。這套系統功能全面，可以實現納米壓痕、拉伸、斷裂、疲勞和力學性能成像等多種功能。目前，該系統承擔了芯片及半導體器件微納尺度結構的性能測試項目，在半導體材料微納力學性能研究方面已經取得了重要成果。

KW原位拉伸臺提供了從1N到5kN的加載范圍，配備了常規拉壓夾具以及緊湊拉伸、三點彎、纖維拉伸等多種專用夾具。與SEM聯用后，能夠將材料的力學數據與相應的組織變化實時結合起來進行綜合分析，為理解材料變形機理提供了重要手段。

由西安交通大學儀器學院韋學勇教授團隊開發的原位扭轉試驗臺目前也已經在SEM4000平臺上完成調試并開展原位實驗，為材料扭轉變形行為研究提供了獨特的技術手段。

范傳偉老師對集成使用體驗給予了積極評價：“各個系統與電鏡之間的協調性很好，操作也比較便捷，我們的研究團隊能夠快速上手。通過這些系統的綜合應用，我們在材料微納尺度行為研究方面獲得了很多重要的實驗數據和科學發現

專為原位實驗優化的設計優勢

SEM4000之所以能夠出色地支撐原位測試平臺建設，得益于其在設計上的多項技術優勢。國儀量子工程師介紹，SEM4000的大樣品倉和大行程位移臺設計為復雜的原位測試系統提供了充足的安裝和運行空間，能夠支持各種原位臺在電鏡下的穩定運行，這是傳統掃描電鏡難以實現的重要優勢。強大的擴展性通過16個法蘭接口的模塊化設計得以體現，用戶可以方便地為不同的原位臺定制真空接口結構和各種線路連接。這種設計理念讓集成不同類型的原位測試系統變得非常便捷。同時，豐富的軟件功能特別是原位視頻錄制功能，能夠連續記錄和保存實驗過程中樣品的變化情況，為動態實驗分析和機理研究提供了重要的數據支撐。

持續創新引領技術發展

面向未來，中心基于SEM4000制定了多項技術創新規劃，展現了對國產設備持續發展的信心。

范傳偉老師介紹：“我們計劃增配原位熱臺和EBSD系統，實現原位高溫及EBSD觀察；其次，我們準備將自研的TEM原位力學定量測試軟件拓展到SEM下，實現更加精確的原位力學測試數據分析。第三個就是開發SEM AI Agent系統，在人工智能的輔助下，開展設備自動化操作、圖像采集和數據處理等工作，通過人工智能技術進一步降低設備使用門檻讓更多的研究人員能夠便捷地使用這些先進的測試功能?！?/p>

“通過系統的持續完善和功能拓展，我們希望能夠在材料微納尺度行為研究方面取得更多突破性進展，同時也為推動國產科學儀器的技術發展和應用推廣貢獻我們的力量。在國儀團隊的支持下，我們對這些創新舉措很有信心。”范傳偉老師說。

西安交通大學微納尺度材料行為研究中心的成功實踐，充分展現了國產高端科學儀器在前沿科研領域的應用潛力和技術實力。從4個月快速產出科研成果，到多套原位測試系統的成功集成，再到未來創新規劃的全面布局，國儀量子自研自產的掃描電鏡在這個國內頂尖研究平臺上的出色表現，為國產科學儀器贏得了權威認可。

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