
北京歐波同光學技術有限公司
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全新一代Axia ChemiSEM掃描電鏡,采用獨特方法進行樣品成分信息的采集、處理和展示;依托先進鏡筒技術,保持系統(tǒng)始終處于**狀態(tài),可聚焦樣品采集數(shù)據(jù),隨時提供高質(zhì)量圖像;采用全開門式設計,耐用性和靈活性更高;可搭載多款掃描電鏡軟件實現(xiàn)多種自動化功能;簡約化設計,全方面性能出色,可表征各種不同類型材料,提供*全面的信息。其成像平臺即時可用,集成獨特的實時定量能譜面分析功能,成像即刻并融合成分信息,專為快速分析而設計,操作輕松自如。
產(chǎn)品參數(shù)
發(fā)射源:預對中鎢燈絲
分辨率:
3.0nm@ 30kV(SE);8.0 nm@ 3kV(SE)
放大倍數(shù):5 ~ 1,000,000×(寶麗來相紙放大)
加速電壓范圍:200V ~ 30kV
探針電流范圍:**可達到2μA,連續(xù)可調(diào)
X-Ray工作距離:10 mm,EDS檢出角:35°
樣品室:內(nèi)寬280mm,端口10個
樣品臺:五軸全自動馬達驅(qū)動
☆ X=120 mm,
☆ Y=120 mm,
☆ Z=55 mm,
☆ T=-15o~90o,
☆ R=360o (連續(xù)旋轉(zhuǎn))
☆ **樣品承重 10 kg
探測器系統(tǒng):
☆ 高真空二次電子探測器ETD
☆ 可伸縮式背散射探測器BSED
☆ 樣品室內(nèi)紅外相機CCD
☆ 圖像導航彩色光學相機Nav-Cam+?
☆ 具有ChemiSEM技術的TrueSight X EDS 探測器
控制系統(tǒng):
☆ 操作系統(tǒng):Windows 10
☆圖像顯示:24寸LCD顯示器,**顯示分辨率1920×1200
☆支持用戶自定義的GUI,可同時實時顯示四幅圖像
☆軟件支持Undo和Redo功能
特點與用途
實時成分信息:同步掃描獲取多種信號時執(zhí)行能譜分析,實時檢測形貌與元素信息;
成像平臺即時可用:只需關注數(shù)據(jù)采集,不必憂慮電鏡條件設置;
更快獲得數(shù)據(jù):多種成像和掃描策略,優(yōu)化圖像采集效果并提升系統(tǒng)處理能力;
靈活的樣品臺設計:全開門式設計,大樣品可輕松加載到樣品倉內(nèi),**樣品10 kg;
**的成像性能:提供低真空模式和電子束減速模式用于消除荷電效應。
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