中國粉體網(wǎng)訊  半導(dǎo)體芯片制程中所用的光刻機(jī)是最重要、最復(fù)雜、最昂貴的集成電路制造裝備，也被稱為半導(dǎo)體制造的“母機(jī)”，其技術(shù)難度之大、單價之高在全球均屬罕見，又被譽為“超精密尖端裝備的珠穆朗瑪峰”，挑戰(zhàn)著人類超精密制造的精度和性能極限。光刻機(jī)中的光學(xué)系統(tǒng)是其最關(guān)鍵且最復(fù)雜的部分之一，包括照明系統(tǒng)和投影物鏡兩大核心組成部分。投影物鏡是光刻機(jī)中實現(xiàn)精準(zhǔn)成像的關(guān)鍵部件，它的主要作用是將掩模圖形按照一定縮放比例成像到硅片上。其中，投影物鏡鏡頭的材料大多采用熔融石英，據(jù)中國粉體網(wǎng)了解，可以穩(wěn)定供應(yīng)滿足193 nm光刻等級的熔融石英的廠家僅有德國Heraeus公司、Schott公司、美國Corning公司、德國蔡司公司等極少數(shù)幾家。（..【詳細(xì)】