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該設(shè)備是適用于6/8英寸晶圓研削的雙主軸三工位全自動減薄機，搭配高精度主軸，配置機械手上下片，集成自動對中、傳送定位、清洗干燥功能，實現(xiàn)干進干出的全自動運行。設(shè)備具有自動測厚、多段研削、超負載等待等功能，加工精度高。
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