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12 英寸硅單晶生長(zhǎng)爐品牌
芯暉裝備產(chǎn)地
浙江樣本
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其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
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項(xiàng)目 | 參數(shù) | 單位 | XINHUI |
晶棒長(zhǎng)度 | · 2100 | mm | 2100 |
晶棒直徑 | · 308 | mm | ≥ 308 |
碳含量 | · < 0.30 | ppma | ＜ 0.10 |
晶體 | · COP ≥ 26nm (no pattern) | % | >85 |
體金屬 | · Bulk Metal Cu | atom/cm3 | ≤ 1E11 |
· Bulk Metal Ni | atom/cm3 | ≤ 1E10 | |
· Bulk Metal Fe | atom/cm3 | Ave ≤ 2E9；Max ≤ 1E10 | |
提拉軸與坩堝軸對(duì)中偏差 | · 多次開(kāi)合操作后 | mm | ≤ ± 1 |
· 承載在0-400kg 范圍內(nèi)變化 | mm | ≤ ± 1 | |
液面位置跟蹤控制精度 | - | mm | ±0.2 |
晶體直徑控制精度 | - | mm | ±2.0 |
投料量（含二次加料） | - | KG | ＞ 400 |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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