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晶圓隱裂外觀邊緣檢測設備-ADSE
晶圓隱裂外觀邊緣檢測設備-ADSE

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型號

晶圓隱裂外觀邊緣檢測設備-ADSE

品牌

芯暉裝備

產地

浙江

樣本

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浙江芯暉裝備技術有限公司

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應用場景

成型、拋光

檢測缺陷

隱裂、崩邊、劃傷、線痕、化學臟污、邊緣缺陷

檢測精度

正反面：20um；隱裂：30μm；邊緣：1.25μm

產能

160 WPH@300mm

產品特點

隱裂檢、高產能、邊緣檢、低過檢、ADC

晶圓種類

Ф6″、Ф8″、Ф


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