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| 產品型號 | 晶圓銅霧離子檢測設備-HD |
| 應用場景 | QC Lab |
| 檢測缺陷 | 判斷晶圓COP 缺陷，輔助晶棒品質分析 |
| 檢測精度 | ±1mm |
| 產能 | COP 分布快速分析成像 |
| 產品特點 | COP 分布快速分析成像 |
| 晶圓直徑 | Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制） |
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