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鈣鈦礦光伏行業原子層沉積系統品牌
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TALD數字系列及Batch系列原子層沉積系統是科民電子專門為鈣鈦礦傳輸層和Al2O3工藝開發的薄膜沉積系統。系統充分考慮鈣鈦礦功能層基片不耐溫、尺寸大的特點，從2019年起作為獨立的產品系列開始研發，經過多輪優化后擁有了高產品質量、高性價比的優點，交付數量已接近100臺。
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