收灰方式：
-進風方式：
-排放濃度：
-阻力損耗：
-脫硫率：
-風量：
-使用溫度：
-除塵效率：
-工作原理：
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項目 | 參數 |
應用范圍 | 用于3~5～200nmEUV 同時兼容KrF/ArF |
配備 | 壓縮空氣濾清器、除靜電離子風、X-Ray除靜電系統 |
風刀角度 | 可手動調整高度&角度 |
風量壓力控制 | 電子式氣壓控制 |
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