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IoN 100 筒式等離子體反應器品牌
科毅科技產(chǎn)地
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IoN 100 是一種筒式等離子體反應器，專為研發(fā)和生產(chǎn)應用而設計。該技術基于International Plasma Corporation、Branson ICP、Dionex、Gasonics、Metroline、TePla 和PVA TePla 在50 多年的時間里開發(fā)的經(jīng)過驗證的反應器設計。IoN 100 使用更大的機箱，提供所有氣體和電源連接。
功能包括：
即插即用自安裝
柔性電極
帶液晶觸摸屏和鍵盤的工業(yè)計算機。
基于Windows 的操作系統(tǒng)。
圖形用戶界面(GUI) 軟件符合
CFR Title 21 Part 11 和Semi E95-1101
多級用戶訪問
軟件
用于快速和多功能步驟控制的配方編輯器
板載診斷功能和報警記錄
通過以太網(wǎng)進行遠程過程監(jiān)控
基于網(wǎng)絡的在線模擬/培訓/支持
機箱上的泵電源插座
節(jié)能功能—泵控制
典型應用：
表面清潔
表面活化
表面功能化
矽氧烷和有機薄膜的沉積
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