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疊層硅片全自動清邊系統
本設備配備高速振鏡光學系統,對鍍膜硅片四周多余膜層進 行清除,旋轉加工平臺和視覺對位等系統有效保證設備節拍 和精度,自動上下料結構滿足聯線量產需求。
兆瓦線、G瓦線等疊層量產客戶
設備優勢
1、多組上下料花籃緩存結構,設備容錯率高;
2、獨特設計視覺定位系統,極大提升刻線位置精度;
3、高速振鏡光學系統,刻蝕速度高達60m/s,節拍快,產 量高。
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