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疊層硅片全自動清邊系統
本設備配備高速振鏡光學系統，對鍍膜硅片四周多余膜層進 行清除，旋轉加工平臺和視覺對位等系統有效保證設備節拍 和精度，自動上下料結構滿足聯線量產需求。
兆瓦線、G瓦線等疊層量產客戶
設備優勢
1、多組上下料花籃緩存結構，設備容錯率高；
2、獨特設計視覺定位系統，極大提升刻線位置精度；
3、高速振鏡光學系統，刻蝕速度高達60m/s，節拍快，產 量高。
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