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設備特點:
疊堆設計**可配置12個腔室
上下層傳送系統提供多達350wph的吞吐量
可配置可正背面清洗,藥液種類多達5種,可回收2種藥液
腔體可配備二流體霧化噴嘴
腔室可將化學飛濺降至*低,確保腔體清潔晶圓加工環境
腔體超潔凈空氣動態平衡均一性好
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