推薦國產(chǎn)碳化硅外延設備“打的火熱”

中國粉體網(wǎng)訊 外延工藝是整個碳化硅產(chǎn)業(yè)中非常關鍵的一環(huán)，所有的器件基本上都是在外延上實現(xiàn)，所以外延的質量對器件的性能是影響非常大，同時外延的質量又受到晶體和襯底加工的影響，所以外延環(huán)節(jié)在碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中起到承上啟下的關鍵作用。[更多]