推薦國產碳化硅外延設備“打的火熱”

中國粉體網訊 外延工藝是整個碳化硅產業中非常關鍵的一環，所有的器件基本上都是在外延上實現，所以外延的質量對器件的性能是影響非常大，同時外延的質量又受到晶體和襯底加工的影響，所以外延環節在碳化硅產業鏈中起到承上啟下的關鍵作用。[更多]