參考價(jià)格
面議型號(hào)
Polaris品牌
北方華創(chuàng)產(chǎn)地
中國(guó)樣本
暫無(wú)看了Polaris 系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)的用戶又看了
留言詢價(jià)
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
Polaris 系列PVD金屬薄膜物理氣相沉積系統(tǒng)主要由真空傳輸平臺(tái),去氣腔室,預(yù)清潔腔室和工藝腔室組成,設(shè)備采用Cluster Tool架構(gòu),可配置多個(gè)工藝腔室、預(yù)清洗腔室和去氣腔室,適用于科研領(lǐng)域。Polaris 系列PVD為全自動(dòng)大產(chǎn)能設(shè)備,具有wafer自動(dòng)傳輸,工藝去氣,晶片表面預(yù)清潔、薄膜沉積完全自動(dòng)化等特點(diǎn)。
設(shè)備特點(diǎn)
?多種材料膜層工藝能力,低損傷,高深寬比填充能力
?獨(dú)立工藝腔室,*多可支持6個(gè)工藝模塊
?優(yōu)異的溫度,顆粒控制能力
?配置靈活、大產(chǎn)能、低運(yùn)營(yíng)成本
產(chǎn)品應(yīng)用
?品圓尺寸:6、8 英寸
?適用材料:銀、鎢化鈦、金、鉑、鈦、氮化鈦、鋁等
?適用工藝:金屬電極、背面金屬化工藝等
暫無(wú)數(shù)據(jù)!
Polaris 系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)的工作原理介紹?
Polaris 系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)的使用方法?
Polaris 系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)多少錢(qián)一臺(tái)?
Polaris 系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)使用的注意事項(xiàng)
Polaris 系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)的說(shuō)明書(shū)有嗎?
Polaris 系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)的操作規(guī)程有嗎?
Polaris 系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎?
Polaris 系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)有現(xiàn)貨嗎?
Polaris 系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)包安裝嗎?
手機(jī)版: