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濺鍍系統
Description:
●專為研發和試運行而設計
●多功能性、操作簡便性和長期可靠性,用
●于單層和多層濺射
●可實現<+/-3%的均勻沉積
●濺射槍具有可變可變伸縮(陰極到基底的離)的濺射槍和靈活的接頭,實現可變入射角
●配備APC,可快速準確地實時控制濺射壓力
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